用途概述: WGL系列鼓風干燥箱,具有造型新、工藝先進、控溫精確、性能穩定、容易維護、操作方便等特點,適用于工礦企業、科研院所、醫藥衛生等單位實驗室干燥、烘焙、熔蠟、熱處理之用。
產品特點:1、新穎的立式設計,箱體外殼采用優質冷軋鋼板加工成形,表面經靜電噴涂工藝處理,造型美觀大方,防腐耐用。2、渦輪離心式扇葉,獨特的底鼓風與底加熱器合理配合,配以立式雙風道垂直熱風循環,使工作室內溫度分布更加均勻。3、工作室采用優質鏡面不銹鋼加工成形,四角呈半圓弧過渡表面經過防腐工藝處理,隔板間距可調,風道側板與底加熱罩快拆式結構,便于清潔4、PID微電腦智能控溫儀,具有定時、超溫報警,控溫精確,讀數方便。5、采用低噪聲鼓風機。6、采用新型結構的箱門隔熱效果好,中間裝有雙層鋼化玻璃大視角觀察窗,配以鎖扣式松緊調節門鎖,耐高溫硅膠密封條,確保良好的密封性,防止熱量流失。注:WGL-625B型為頂置鼓風。
主要技術參數:
型 號 Model | 電源電壓(V) voltage | 控溫范圍(℃) Temperature variation | 恒溫波動度(℃) Tem.fluctuation | 溫度分辨率(℃) Tem.distingu- ishability | 工作環境溫度(℃) Ambient tem. | 加熱功率(kw) Heating power |
WGL-30(B) | 220V/50HZ | RT+10-300℃ | ±1.0℃ | 0.1℃ | +5-40℃ | 0.8 |
WGL-45(B) | 1.2 | |||||
WGL-65(B) | 1.6 | |||||
WGL-125(B) | 2.3 | |||||
WGL-230(B) | 3 | |||||
WGL-625B | 380V/50HZ | 5 |
型 號 Model | 工作室尺寸 寬×深×高(mm) Interior dimensions W×D×H | 產品外形尺寸 寬×深×高(mm) Exterior dimensions W×D×H | 包裝外形尺寸 寬×深×高(mm) Packaging dimensions W×D×H | 擱板負荷 Load per rack | 凈重/毛重(kg) Gross/net weight | 定時范圍 Timing range |
WGL-30(B) | 310×310×310 | 460×510×695 | 550×570×765 | 15/kg 標配數2塊 15/kg 2 for stand-ard configuration | 39/51 | 1-9999min |
WGL-45(B) | 350×350×350 | 500×550×735 | 620×585×800 | 42/56 | ||
WGL-65(B) | 400×360×450 | 550×550×840 | 640×640×905 | 47/61 | ||
WGL-125(B) | 500×450×550 | 636×680×915 | 730×720×1000 | 56/71 | ||
WGL-230(B) | 600×500×750 | 730×670×1220 | 900×800×1350 | 25/kg標配數量兩塊 25/kg 2 for standard configuration | 70/105 | |
WGL-625B | 660×760×1250 | 895×925×1830 | 1000×1080×2000 | 25/kg標配數量三塊 25/kg 3 for standard configuration | 90/160 |
注:B表示不銹鋼工作室(無B則為優質冷軋鋼板)。性能參數測試在空載條件下為:環境溫度20℃,環境濕度50%RH
鹽霧、酸霧耐腐蝕實驗
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CJBH-IIIK投入式液位變送器(氣體導壓式,用于高溫、腐蝕性液體、污水等)
CJBH-IIIK型硅壓阻式液位變送器將OEM充油芯體封裝在不銹鋼殼體內,前端防護帽起保護傳感器膜片的作用,也能使液體流暢地接觸到膜片,防水導線與外殼密封連接,通氣管在電纜內與外界相連,內部結構防結露設計。CJBH-IIIK型內置微型信號處理電路,可進行遠程傳輸。
CJBH-IIIK投入式液位變送器(氣體導壓式,用于高溫、腐蝕性液體、污水等)的傳感器部分與信號處理電路在接線盒內部,由投入液體內的集氣筒內的氣體與介質接觸,通過導氣管將壓力傳遞給傳感器,避免了傳感器與被測介質的直接接觸,適應于高溫強腐蝕性等場合,有效地解決了高溫腐蝕液體以及污水液位測量的難題。它特別適合于高溫、腐蝕性液體和污水的測量。CJBH-II液位變送器選用MC20B型壓力變送器為壓力測量部件,由集氣筒采集到液位壓力信號,傳送給壓力變送器,將壓力信號轉換為液位信號輸出。
壓力變送器與液位關系為: P=0.0098ρH+Pc
式中:P 壓強MPa; ρ 液體密度(g/cm3);H 液面深度(m);Pc 液面壓力(常壓為0)
PCM260型廣泛應用于環保、水利、變頻供水、工業過程控制、化工等領域的液位測量控制。
主要特點:
主要技術參數:
量程(米) | 0—1.5.......50m |
輸 出 | 4—20mA(1-5V);0—10mA(0—5V); |
精 度 | 0.5% |
非線性、重復性、遲 滯(%F·S) | 0.3% |
零點及靈敏度溫度漂移(%/℃F·S) | ≤0.03 |
零點漂移(%/F·S4h) | ≤0.3 |
長期穩定性(%F·S/年) | 0.3 |
工作電壓(V) | +24標定(+18~+36) |
補償溫度(℃) | 0~70 |
工作溫度(℃) | -20℃~250 |
過載能力(%) | 300 |
壽 命 | >1×108壓力循環(25℃) |
頻響(Hz) | >1000 |
測量介質 | 高溫液體、腐蝕性液體 |
膜片材料 | 316L不銹鋼 |
防護等級 | IP67 |
殼體材料 | 1Cr18Ni9Ti |
接口 | 投入分體式 |
HMDS預處理系統
在半導體生產工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環節,而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量,所以涂膠也顯得尤為必要,尤其在所刻線條比較細的時候,任何一個環節有一點紕漏,都可能導致光刻的失敗。在涂膠工藝中,所用到的光刻膠絕大多數是疏水的,而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,如果在晶片表面直接涂膠的話,勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差,甚至造成局部的間隙或氣泡,涂膠厚度和均勻性都受到了影響,從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題,涂膠工藝中引入了一種化學制劑,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化學名稱叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的化合物,這實際上是一種表面活性劑,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起到耦合的作用,再者,在顯影的過程中,由于它增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。 最初,人們用液態的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現在的HMDS預處理系統。
2 HMDS預處理系統的優越性
HMDS預處理系統的優點在于:
(1)預處理性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達多盒的晶片。
(4)更加節省藥液。實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理多盒晶片所用藥液還多;
(5)更加環保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。
3系統結構
整個系統由加熱、真空系統、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環境下進行,所以自始至終加熱系統都在工作。
本系統采用在腔體外側加熱,采用人工智能PID調節儀實現閉環控制,調節儀控制固態繼電器的輸出,從而實現溫度的精確穩定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽,均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶,接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。
它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。
人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現參數、狀態等界面的顯示和參數的設定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數設定、幫助。
當按下自動運行鍵后,畫面轉換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態,運行時間等,同時系統開始運行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當到達設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數為設定值,當系統自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現異常可點擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統規格參數
內部尺寸:450X450X450
電源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常壓到—133pa或1TORR以下
材質: 內部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路: SUS潔凈管
層架; SUS316材質
門內板: 鋼化玻璃
流程控制:液晶觸摸屏(臺灣威綸通)、PLC控制(三菱),流程可編輯,可以預存5組程序。(可根客戶要求可以更改流程)
加熱方式:腔體外側加溫。 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫
精確可靠。控溫精度:1℃,真空室溫度均勻
氮氣裝置:氮氣進入箱內有調壓裝置,控制有自動閥完成。
HMDS裝置:HMDS藥液進入箱內采用壓力差吸取瓶內HMDS方式,自動閥控制
真空泵:抽氣速度4升\秒
工作流程:
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內真空度達到某高真空度(該值可預設)后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度(該值也可預設)后的再次重復抽真空、充入氮氣的過程,達到設定的充入氮氣的次數后再次抽真空,然后充入藥液,達到設定時間后,停止充入藥液,進入保持階段。當到達設定的保持時間后,再次開始抽真空、充入氮氣,次數為設定值,當系統自動工作完成后,畫面切換到結束畫面,同時給出聲光報警等待取片,在自動工作過程中若出現異常可點擊運行畫面中的停止鍵,隨時終止程序的運行。
溫度交變試驗箱http://www.shmaijie.net.cn/產品用途
高低溫試驗箱:該儀器適用于工業產品高、低溫的可靠性試驗。對電子電工、汽車摩托、航空航天、船舶兵器、高等院校、科研單位等相關產品的零部件及材料在高、低溫(交變)循環變化的情況下,檢驗其各項性能指標。產品具有較寬的溫度控制范圍,其性能指標均達到國家標準。
溫度交變試驗箱設備工作原理
1. 工作原理
制冷工作原理:制冷循環采用逆卡若循環,該循環出兩個等溫過程和兩個絕熱過程組成,其過程如下:制冷劑經壓縮機絕熱壓縮到較高的壓力,消耗了的功使排氣溫度升高,之后制冷劑經冷凝器等溫地和四周介質進行熱交換將熱量傳給四周介質。后制冷劑經截流閥絕熱膨脹做功,這時制冷劑溫度降低。最后制冷劑通過蒸發器等溫地從溫度較高的物體吸熱,使被冷卻物體溫度降低。此循環周而復始從而達到降溫之目的。本試驗箱之制冷系統采用1套法國產泰康全封閉壓縮機所組成的單元氟利昂制冷系統。制冷系統的設計應用能量調節技術,既能保證制冷機組正常運行,又能對制冷系統的能耗及制冷量進行有效的調節,使制冷系統保持在最佳的運行狀態。采用平衡調溫(BTC),既在制冷系統在連續工作的情況下,控制系統根據設定之溫度點通過PID自動運算輸出的結果去控制加熱器的輸出量,最終達到一種動態平衡。
2.滿足標準
系列試驗箱適用于工業產品恒定濕熱的可靠性試驗。性能指標符合GB/T2423.1-2001 電工電子產品基本試驗規程 試驗A:低溫試驗方法,GB/T2423.2-2001 電工電子產品基本試驗規程 試驗B:高溫試驗方法,GB2424.1-89 電工電子產品基本環境試驗規程。
推薦產品:步入式氣候循環試驗室http://www.shmaijie.net.cn/
移動式登車橋:用于現場無裝卸貨平臺或需要流動裝卸貨物的場所。如果物流現場沒有裝卸貨平臺,作為補救措施,移動式登車橋是非常適用的方案之一,移動式登車橋相當于一個移動的鋼結斜坡,叉車同樣能直接駛入卡車車廂內部進行批量裝卸作業。只需單人操作,不需動力電源,即可實現貨物的安全快速裝卸。
結構: 移動式登車橋采用特制異型鋼管,臺面采用特制的菱形網格板,防滑(網)板。它的波形鋼格網狀結構,充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊(可有效防止貨車裝卸時液壓登車橋移位)。可調節長度的索鏈能方便地鉤住貨車,使登車橋與貨車始終緊密貼合。 移動式液壓登車橋廣泛用于無裝卸設備的貨臺及流動裝卸場所,是與叉車配合使用的貨物輔助設備。借助該設備,叉車能直接駛入汽車車廂內部進行批量裝卸作業。只需單人操作,不需動力電源,即可實現貨物的安全快速裝卸。既可使您減輕勞動強度,又能成倍提高裝卸作業效率,加快物料流通速度,獲取更大經濟效益。
移動登車橋是與叉車配合使用的貨物裝卸輔助設備,可根據汽車車廂的高低調節高度,叉車可以直接通過本設備駛入車廂內部進行貨物的批量裝卸,僅需單人作業,即可實現貨物的快速裝卸。它使企業減少大量勞力,提高工作效率,獲取更大經濟效益
產品規格:6、8、10噸,與叉車配套使用,設備采用手動液壓方式,無需電源 ,省時省力。 液壓登車橋使用場所:車型不一的企業、車站、碼頭、倉儲物流基地。 移動登車橋特點:臺面采用特制的菱形網格板有可靠的強度,能保證長期使用而不變形。它的菱形網狀結構,充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。即使在雨、雪天氣,仍能保證正常使用。 可調節長度的索鏈能方便地鉤住貨車,使移動式登車橋與貨車始終緊密貼合。
采用手搖液壓泵作動力,勿需外接動力電源即可輕松實現登車橋的高度調節。
配置的剎車墊可有效防止貨車裝卸時登車橋移位。。 移動登車橋結構:采用特制異型鋼管,臺面采用特制的菱形網格板,防滑(網)板。它的波形鋼格網狀結構,充分保證了卓越的防滑性能,使叉車有更好的爬坡性和可操縱性。配置的剎車墊(可有效防止貨車裝卸時液壓登車橋移位)。可調節長度的索鏈能方便地鉤住貨車,使登車橋與貨車始終緊密貼合.
型號 | 額定溫度 | 額定功率 | 電壓/相數/頻率 | 爐膛尺寸 | 電爐重量 | |
GST-6-1400 | 1400 | 6 | 220v/50HZ | 250*150*150 | 180Kg | |
GST-10-1400 | 1400 | 10 | 380V/3/50HZ | 400*200*200 | 250kg | |
GST-20-1400 | 1400 | 20 | 380V/3/50HZ | 450*250*300 | 300Kg | |
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