重現(xiàn)性 | <0.002MM | 外形尺寸(L×W×H) | 541×460×705mm |
解析力標(biāo)準(zhǔn) | 0.4um | 臺(tái)面大小 | 460×313mm |
位移驅(qū)動(dòng) | 0.1um | 機(jī)臺(tái)重量 | 80kg |
線性精度 | ±(2+L/150) um | 放大倍數(shù) | 15X-100X |
精度 | ±2um | 臺(tái)面荷重 | 36kg |
X行程 | 200mm | 測(cè)量速度 | 500mm/min |
Y行程 | 100mm | CCD | SONY高清晰 |
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