產品規格:
重現性 <0.005mm
外形尺寸 (WxDxH) 700×500×900mm
解析力標準 0.001mm
臺面大小 500×350mm
線性精度 4+L/150um
機臺重量 150K
精度 4+L/150um
放大倍數 40x~400x
X行程 300mm
臺面荷重 30Kg
Y行程 200mm
CCD SONY芯片彩色1/3英寸48TV線