| 插入式氣體質量流量計（防爆） 美國獨資 型號:JKY/MFI | 庫號：M314952 | 插入式氣體質量流量計（防爆） 美國獨資JKY/MFI更多信息>>> | | 產品概述: 氣體質量流量計是采用（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表。主要技術性能處于國際領先水平，具有靈敏度高、量程比大、精度高等特點；還有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其獨特的性能，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。 本系列流量計在中國大陸的執行標準為Q/77453766-1·1-2006。參照執行標準: ISO14511 。 產品特點： - 采用微機電系統芯片加工技術和類似于大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。 - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。 - 傳感器零點穩定度較之傳統的熱式質量流量計有極大的改善。 - 結合二次儀表的微電腦智能技術，使該流量計重復性好，實現了計量。 - 技術帶來的結構簡化，該流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，為用戶降低能源消耗。 - 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便。 - 本流量計有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。 - 用戶根據需要可以選配4～20mA標準電流信號輸出。 - 用戶根據需要可以選擇脈沖輸出模塊，可兼容現有抄表系統，每個脈沖代表0.001 Nm3的流量。 - 通過國家防爆認證，標志為EX ia IIC T4，可用于易燃易爆氣體。 技術參數： 基本參數 （1） 精度: ±（1.5+|r|Qmax/Qi）% 其中，Qmax: 最大流量; Qi: 當前流量; r: 零點穩定度; 通常r=0.15 （2） 測量范圍: 0.01～65 Nm/sec （例： DN100: 0.25～1600Nm3/hr） （3） 標準狀態條件（P=101.325kPa，T=293.15K）,執行標準 Q/77453766-1•1-2006。 使用環境 （1） 環境溫度：-20～+55°C （2） 環境濕度：≤95%RH （3） 大氣壓: 86kPa～106kPa （4） 工作壓力: 0.1～1.5MPa 介質條件 （1） 介質溫度：-10～+55℃（大于此范圍可協議供貨）； （2） 可測量的介質：除乙炔外的各種工業氣體。 電氣性能指標 （1） 工作電源：外部電源，8～24 VDC （2） RS485通信 采用RS485通信接口，可直接與用戶設備聯網，遠距離顯示實時流量與累計流量，便于集中管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 （3） 4～20mA 電流輸出 與標準質量流量成正比，4mA對應0，20mA對應Qmax 。 （4） 脈沖輸出 本流量計的脈沖輸出為0～5V的電平信號，每個脈沖代表0.001Nm3的累計流量。 （5） 電源工作情況記錄與累計流量記錄 A． 可以記錄最近1000次供電電源的工作情況，包括上電或者斷電的時間，當時的累計流量。 B． 可以根據需要記錄每3分鐘～720分鐘的累積流量，方便用戶進行數據的分析和管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 其他技術指標 （1） 校準氣體：通常為空氣（20°C，101.325 kPa）； 用戶若有需要，可采用實際氣體標定。詳細請與廠商聯系。 （2） 防護等級：一體型 IP65（可根據客戶需求進行相應改型處理） （3） 防爆要求：EX ia IIC T4 機械尺寸： 管道直徑 （mm） 插入深度 （mm） 探桿總長度 （按15通徑的球閥計算） 定長 流量范圍（Nm3/hr） 80 10.60 192.60 桿長250；直徑φ14 球閥15 0～1024 100 13.25 195.25 0～1600 125 16.56 198.56 0～2500 150 19.87 201.86 0～3600 200 26.50 208.50 0～6400 250 33.13 215.13 0～10000 300 39.75 221.75 0～14400 350 46.38 228.38 0～19600 400 53.00 235.00 0～25600 450 59.63 241.63 0～32400 500 66.25 248.25 0～40000 600 79.50 261.50 桿長325；直徑φ14 球閥15 0～57600 700 92.75 274.75 0～78400 800 106.00 288.00 0～102400 900 119.25 301.25 0～129600 1000 132.50 314.50 0～160000 1100 145.75 327.75 0～193600 1200 159.00 341.00 桿長400；直徑φ19 球閥20 0～230400 1300 172.25 354.25 0～270400 1400 185.50 367.50 0～313600 1500 198.75 380.75 0～360000 1600 212.00 394.00 0～409600 說明書: 前言 氣體質量流量計是SIARGO采用自主知識產權（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機控制技術開發生產出的新一代智能化全電子式的氣體質量流量儀表。該產品性能處于國際領先水平，具有靈敏度高、量程范圍寬、精度高、具有抗干擾隔離設計、多種信號輸出等多項特點，并能通過通信接口實現網絡化管理。 本流量計可用于各類工業及商用場合的氣體計量、監測或控制。為了正確、安全地使用本產品，地應用其設計功能，減少因操作錯誤造成的儀表損壞，降低因操作不當發生危險的可能性，了解產品的各項功能、操作規程與要求、注意事項等內容，以免引起誤操作，造成損失。使用者在操作儀器前，必須詳細閱讀本說明書。 聲明 1．本流量計在出廠時，所有軟件、硬件均經過嚴格測試，絕對禁止對任何軟件、硬件進行改動。 2．絕對禁止在本流量計有故障的情況時繼續使用。 3．當流量計發生故障時，必須由我公司或由我公司授權的技術人員進行檢修，絕對禁止未經我公司同意或未經我公司授權的技術人員對流量計進行軟件、硬件改動，否則我公司對由此產生的后果概不負責。 目錄 前言1 聲明1 目錄2 一、使用及安全事項3 二、概述4 三、產品分類形式及選型說明5 四、產品結構與工作原理6 五、技術指標8 六、安裝說明9 七、功能說明15 八、檢定16 九、維修和故障排除17 十、運輸及貯存17 十一、開箱及檢查17 十二、客戶服務及技術支持18 附錄：應用說明19 一、使用及安全事項 （1）本產品適用于相對潔凈、組分單一或相對穩定的氣體質量流量在線測量，如工業、商業環境內的氣體計量、監測或控制。在其它環境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，特殊需求請和本公司聯系。 （2）使用的技術范圍請參照本說明書的技術參數部分。在其它環境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，特殊需求請和本公司聯系。 （3）安全事項 - 使用、安裝、儲存和維護本流量計均須嚴格按照相應的安全操作規范來進行。否則，將有可能造成危害及傷害以及其他不可預知的有害事件發生。所有的安裝、儲存和維護均需要有經驗的人員來進行。本手冊應放置在靠近流量計并且隨時易于獲取的地方。 （4）在使用本流量計前，應仔細閱讀本手冊并應當對手冊所述各項熟記于心。 （5）本流量計建議維護或重校周期為2年，或視其需要適當作相應的維護或校驗。 二、概述 氣體質量流量計是采用（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表。主要技術性能處于國際領先水平，具有靈敏度高、量程比大、精度高等特點；還有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其獨特的性能，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。 本系列流量計在中國大陸的執行標準為Q/77453766-1•1-2006。參照執行標準: ISO14511。 產品特點： •采用系統芯片加工技術和類似于大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。 •在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。 •傳感器零點穩定度較之傳統的熱式質量流量計有極大的改善。 •結合二次儀表的微電腦智能技術，使該流量計重復性好，實現了計量。 •技術帶來的結構簡化，該流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，為用戶降低能源消耗。 •采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便。 •本流量計有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。 •用戶根據需要可以選配4～20mA標準電流信號輸出。 •用戶根據需要可以選擇脈沖輸出模塊，可兼容現有抄表系統，每個脈沖代表0.001 Nm3的流量。 •通過國家防爆認證，標志為EX ia IIC T4，可用于易燃易爆氣體。 三、產品分類形式及選型說明 選型方式按照如下選型規則確定： 為選型方便，帶球閥的插入式流量計的探桿長度及對應的流量范圍可見下表： 管道直徑（mm）插入深度（mm）探桿總長度（按15通徑的球閥計算）定長流量范圍（Nm3/hr） 8010.60192.60桿長250；直徑φ14球閥150～1024 10013.25195.25 0～1600 12516.56198.56 0～2500 15019.87201.86 0～3600 20026.50208.50 0～6400 25033.13215.13 0～10000 30039.75221.75 0～14400 35046.38228.38 0～19600 40053.00235.00 0～25600 45059.63241.63 0～32400 50066.25248.25 0～40000 60079.50261.50桿長325；直徑φ14球閥150～57600 70092.75274.75 0～78400 800106.00288.00 0～102400 900119.25301.25 0～129600 1000132.50314.50 0～160000 1100145.75327.75 0～193600 1200159.00341.00桿長400；直徑φ19球閥200～230400 1300172.25354.25 0～270400 1400185.50367.50 0～313600 1500198.75380.75 0～360000 1600212.00394.00 0～409600 四、產品結構與工作原理 4.1產品結構 本流量計主要由（MEMS）流量傳感器部件，智能控制、顯示及輸出部件，測量管體，測量探桿,穩流器，法蘭及過渡部件組成。其結構如圖4-1所示： 4.2工作原理 （MEMS）芯片傳感技術，是在硅片上集成了具有機械和電子的特征的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術與大規模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。系統芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。一個典型的芯片包含有微傳感器、微調節器、微執行器及智能電子控制線路。其傳感器能感應環境的熱、機械、磁、光、化學或生物特性，通過微調節器及智能電子控制線路來完成器件所賦予的功能。 本流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它通過由于氣體流動產生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。 不同于傳統的“熱絲”方式采用單一熱傳感器及熱源來測量氣體的質量流量（風速式熱質量流量原理），系統芯片熱質量流量傳感器采用了多個熱傳感器及一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。系統芯片熱質量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會像傳統的“熱絲”式質量流量計那樣造成氣體的對流。因而，系統芯片熱質量流量傳感器具有優良的零點穩定性和極短的響應時間。 本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。見流量計原理框圖圖4-2。 五、技術指標 5.1基本參數 （1）精度:±（1.5+|r|Qmax/Qi）% 其中，Qmax: 最大流量; Qi: 當前流量; r: 零點穩定度; 通常r=0.15 （2）測量范圍:0.01～65 Nm/sec （例： DN100: 0.25～1600Nm3/hr） （3）標準狀態條件（P=101.325kPa，T=293.15K）,執行標準 Q/77453766-1•1-2006。 5.2 使用環境 （1）環境溫度：-20～+55°C （2）環境濕度：≤95%RH （3）大氣壓: 86kPa～106kPa （4）工作壓力: 0.1～1.5MPa 5.3介質條件 （1）介質溫度：-10～+55℃（大于此范圍可協議供貨）； （2）可測量的介質：除乙炔外的各種工業氣體。 5.4電氣性能指標 （1）工作電源：外部電源，8～24 VDC （2）RS485通信 采用RS485通信接口，可直接與用戶設備聯網，遠距離顯示實時流量與累計流量，便于集中管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 （3）4～20mA 電流輸出 與標準質量流量成正比，4mA對應0，20mA對應Qmax 。 （4）脈沖輸出 本流量計的脈沖輸出為0～5V的電平信號，每個脈沖代表0.001Nm3的累計流量。 （5）電源工作情況記錄與累計流量記錄 A．可以記錄最近1000次供電電源的工作情況，包括上電或者斷電的時間，當時的累計流量。 B．可以根據需要記錄每3分鐘～720分鐘的累積流量，方便用戶進行數據的分析和管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 5.5其他技術指標 （1）校準氣體：通常為空氣（20°C，101.325 kPa）； 用戶若有需要，可采用實際氣體標定。詳細請與廠商聯系。 （2）防護等級：一體型 IP65（可根據客戶需求進行相應改型處理） （3）防爆要求：EX ia IIC T4 六、安裝說明 6.1 流量計外形 6.2安裝 本產品的安裝為水平安裝。管道體上箭頭標記方向為介質流向。介質進出端口連接必須正確，進口端需裝過濾器。 安裝步驟如下： （1）取出流量計后檢查其外表，確定無損傷； （2）連接并清潔管道。先去掉管道焊接后的一些大的金屬殘渣；然后用急開急關氣流的方法反復3次以上，去掉管道內的一些小殘渣。確保管道內無任何殘渣后方可進入下一步； 注意：a.為了減少灰塵對流量計的影響，流量計的靈敏度和計量性，必須在流量計前端加過濾器； b.為了確保氣流的穩定性和計量的性，流量計必須確保前端最少7DN，后端最少3DN的直管段（注意中間不能有閥門）； 插入式流量計安裝示意，參看圖6-2. （3）將流量計安裝到管道上，確保流量計進出口軸線目測無偏斜； 注意：a.為了流量計的計量性，安裝時要先連接流量計的上游端； b.流量計安裝時密封件不得凸入管道中，也不能有任何密封膠滲入管道內； （4）插入式安裝方法及注意事項 A.安裝原則: a）安裝應氣體流向與產品指示方向一致.（圖6-3） b）傳感器與流量方向的平行度應小于±3度.（圖6-4） c）安裝位置應遠離彎頭,閥門,變徑等,上游7倍管徑和下游3倍管徑的直管段（圖6-5） （圖6-3） （圖6-5） B.安裝示意圖： （圖6-6） a）如圖圖6-6，在管體垂直穿過管道截面軸線位置的上端打一個直徑14的圓孔。 b）把不銹鋼底座采用氬弧保護焊接的方式焊接在直徑14mm的圓孔同心位置，使不銹鋼底座與直徑14mm的圓孔同軸。 c）把密封圈放在底座上端的V形槽中。 d）把插入式流量計的探頭穿過底座插入管體，插入前先把鎖緊帽和墊片套在探頭上。 e）調整探頭插入深度和探頭軸線位置，旋緊鎖緊帽，將流量計固緊在管體上。氣體流向與流量計指示方向一致。 C.探頭插入深度如圖6-7， 尺寸按以下公式計算： L = D/8 + H + 157（公式1） L：探頭插入深度（mm） D：管道內徑（mm） H：管道壁厚（mm） D.傳感器調節方法 如圖6-8 注意：在對插入式表進行傳感器方向校正時，采用我公司提供的校準工裝；見圖6-3-8所示，將工裝的安裝座水平安裝在流量計的圖中所示安裝座處，注意裝平，再鎖緊螺釘，然后插入探桿，如圖所示，要求探桿的兩只腳都能夠的接觸好管道的外壁，這樣傳感器的方向就調好了！ （5）線纜連接 A．連接流量計與用戶接口的電纜線，并確保流量計外殼上接地線連接大地，連接定義如下（流量計引出線見圖6-9）： DC+ 即8V～24VDC； DC- 即GND； RS485ARS485A； RS485BRS485B； LOOP+ 8～24VDC供4～20mA工作（信號與電源隔離）； LOOP- 4～20mA電流信號輸出； PULSE 脈沖輸出信號； VP 即脈沖電源供電+5VDC； PGND 即脈沖電源供電GND； 保護地 連接大地 （注意：對于控制信號不同要求的用戶，根據相應應用連接對應的信號） （6）回路電阻的連接（本步驟為需要4～20mA電流信號輸出的用戶使用，其他用戶請跳過本步驟）： 外部4～20mA電流輸出電路電壓與回路最大電阻的關系： RL（max）=（VS-6V）/20mA 若VS=24V，則 RL（max）=（24V-6V）/20mA=900Ω 一般情況下，直接選擇RL=100Ω； 注意 ：一定要確認連接線無誤后才能進行下一步！ （7）接通流量計電源，液晶顯示屏上應依次顯示： AUTO CHECKING...（系統自檢） 1） CRYSTALOK （檢測系統晶體振蕩器,正常） 2） ADC OK （檢測ADC,正常） 3） EEPROMOK （檢測數據存儲器EEPROM,正常） 4） RTC OK （檢測實時時鐘RTC,正常） 當上述任一項檢測到故障時有錯誤顯示：ERROR 如： 1） CRYSTAL ERROR 顯示出錯標志，并繼續檢測，等待振蕩；若故障仍存在，則系統停止運行；若故障消失，系統運行，顯示 1） CRYSTAL OK-OK） 上述檢測過程完成后，液晶屏上應出現如圖7-1的顯示； （8）等待約10秒后，液晶屏上應出現雙排顯示。上排為當前總量（即累計流量），單位為標準立方米/小時（Nm³）；下排為實時流量，單位為標準立方米（Nm³/h）； 注意：由于本流量計具有很高的靈敏度，極微少的氣體流動也將會被檢測到。因此若此時流量計的實時流量讀數不為零是正常的（管道中無氣體流動時顯示應為零）； （9）開啟管道上下游的閥門，流量計開始計量管道中的氣體流量，液晶屏顯示出現流量數據。 6. 3流量計安裝注意事項: （1）嚴禁流量計在線焊接管道法蘭； （2）流量計安裝前必須清除管道中的雜質,避免異物進入而損壞流量計,管道內壁應清潔無積垢； （3）流量計安裝時密封件不得凸入管道中，流量計進出口軸線目測無偏斜； （4）流量計的輸出連線中保護地線必須與現場大地連接； （5）安裝后不允許對流量計產生安裝應力，以免損壞流量計； （6）流量計周圍不能有強的外磁場干擾及強烈的機械振動； （7）介質流量應穩定，操作有關閥門時動作要緩慢，切勿突然關閉。 七、功能說明 7.1工作模式 本流量計具有用戶、操作和校準工作模式，一般情況，均在用戶模式下工作。 （1）用戶模式下，流量參數只在液晶屏上顯示，輸出接口不工作； （2）操作模式下，流量參數在液晶屏上顯示的同時，流量計上的RS485和脈沖輸出接口也有數字輸出； （3）校準模式下，流量計在校準系統管理下，讀出和存儲校準參數。 7.2內部參數輸出 流量計內部自動會記錄最大、最小瞬間流量值和時間值，斷電時間及斷電時的累積流量等，為實現網絡管理提供條件。用戶可采用本公司提供的專門用戶軟件。 7.3LCD顯示 在正常工作狀態下，本流量計液晶屏為如圖7-1顯示。 顯示內容有：總量（即累計流量）、流量（即瞬時流量）等；本流量計表盤如圖所示： www.cncom.net 在正常工作狀態下，本流量計液晶屏為雙排數字顯示。上排為當前累計流量，單位為Nm3（標準立方米）,可以顯示0.000～99999999.999 Nm3；下排為實時流量，單位為Nm3/h （標準立方米/小時），可以顯示0.000～999999.999 Nm3/h。 實時質量流量與體積流量間的轉換是基于下述條件：1 標準立方米（Nm3/h）等于在溫度20°C，大氣壓力101. 325kPa下該氣體1立方米的體積。 7.4RS485通信 本流量計的通訊方式為RS485，其設置為： 波特率－9600；數據位－8；停止位－1；校驗位/流控制－無。 （1）用戶模式： 通過RS485向流量計送0x9d和0x00（并取得流量計的確認信號0x9d和0x00），流量計進入用戶模式。 （2）操作模式： 通過RS485向流量計送0x9d和0x54（并取得流量計的確認信號0x9d和0x54），流量計進入操作模式，RS485將連續輸出一組數據（ASCII碼）： V=vvvv\\nF=ffffff\\nA=aaaaaaaa\\nT=x\\n;\\n 其中V為電壓內碼值，F為流量值（fff.fff Nm3/h），A為總流量（aaaaa.aaa Nm3），T為當前傳感器（0和1分別代表不同的傳感器）。 7.5累計流量記錄 （1）總流量數據間隔100s保存一次。 （2）可選擇每3～1440分鐘（可以設置）記錄一組數據，以便分析某段時間的氣體使用情況，保存內容有：年，月，日，時，分，總量，流量數據。一共可以記錄1000條數據。 上述數據可以通過應用軟件形成用氣量曲線圖，如瞬時流量曲線圖，日用氣量曲線圖，月用氣量曲線圖。 八、檢定 雖然本流量計在出廠前已經過嚴格質量檢查，在產品現場安裝前仍應嚴格按照相應的安全規章來進行。產品的其它性能如校準、部件替換、維修等應送到專業部門由受過專門培訓的技術人員進行。如有需求，本公司可提供相應技術支持和人員培訓。 8.1檢定與校準 每臺流量計在出廠時均經質量和計量檢驗、檢定部門檢驗。檢定合格, 并出具產品合格證明書。當用戶使用的氣體與校準氣體的差異較大時，流量計有可能出現相應的計量偏差,用戶應與廠家聯系，由廠商提供修正的方法和相應的用戶軟件。 本流量計的檢定或校準參照國家質量式流量計檢定規程和說明書中的要求進行，可采用鐘罩、音速噴嘴或標準表法，并按照廠商提供的應用程序和規定的操作規范來完成。進一步的情形請與廠商，或當地檢測站聯系。 8.2注意事項 （1）不得隨意松開流量計的固定部分。 （2）流量計在室外使用時，建議安裝防護罩。 （3）介質流量應穩定，操作有關閥門時動作要緩慢，切勿急啟急停。 九、維修和故障排除 若需進一步的信息和及時更新信息，請直接與本公司聯系。 十、運輸及貯存 10.1運輸 流量計及其附件應該裝入專門的包裝箱中，有防止碰撞、防止振動等保護措施。 采用一般交通工具運輸，在運輸過程中不得劇烈振動、碰撞，避免與腐蝕性物質混存混運，并注意防雨防潮。 10.2貯存 應存放于陰涼、通風、干燥無腐蝕性物質的倉庫內。 十一、開箱及檢查 開箱時應檢查外部包裝的完整性，根據裝箱單核對箱內物品數量、規格，并應檢查其完好性。 隨機文件有：裝箱單，合格證，檢定證書，使用說明書。 十二、客戶服務及技術支持 竭力保障其產品的質量。若有任何質量問題或需產品的技術支持，請與本公司的客戶服務聯系。 www.cncom.net 附錄：應用說明 雖然傳感器的應用簡明直觀，為了更好地選擇使用傳感器以滿足應用要求，仍需注意以下事項。 壓力和溫度 傳感器測量的是質量流量而與壓力和溫度無關，但在將質量流量換算成體積流量時，須進行壓力和溫度修正。在大多數情況下，本產品的零點漂移對測量的影響微小，因而不需要對壓力和溫度變化額外關注。但在某些極端超出本產品的技術參數溫度和壓力的情況下，需進行額外的校準。 體積流量和質量流量 絕大多數氣體計量都采用的是容積式的機械流量計。但是，因為不能測量與環境溫度和壓力相關的氣體容積的變化，體積流量在溫度或壓力變動的情況下往往不能滿足測量的要求。MEMS流量傳感器直接計量質量流量，其計量數據總是對應于標準狀態下（101.325kPa, 20ºC）的體積，通常表達為NCMH（標準立方/每小時），質量流量實際是自動換算成體積流量。 不同氣體的導熱性 傳感器精確度取決于校準。校準通常用空氣在101.325kPa, 20ºC條件下進行。不同氣體具有不同特性，對不同的氣體，在空氣中校準的傳感器有可能達不到產品技術參數表所示的精確度。但是，傳感器對大多數氣體都具有相似特性，這樣，對不同的氣體，僅需使用氣體轉換參數而不需專門校準即可應用MEMS傳感器。更多有關信息，請聯系廠家獲取。 量程比 量程比是在限定的精確度下傳感器能計量的最大流量與最小流量之比。 流量傳感器采用集成工藝，在高精度下能達到相當大的量程比。而且，MEMS傳感器的量程比與壓力無關，而不象機械式流量計如渦輪流量計的量程比是一個與壓力相關的變量。 歷史資料:2009-11-05版本 2009-11-05版本 2009-11-23版本 2009-11-23版本 | 插入式氣體質量流量計（防爆） 美國獨資JKY/MFI | 本系列流量計在中國大陸的執行標準為Q/77453766-1·1-2006。參照執行標準: ISO14511 。 產品特點： - 采用微機電系統芯片加工技術和類似于大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。 - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。 - 傳感器零點穩定度較之傳統的熱式質量流量計有極大的改善。 - 結合二次儀表的微電腦智能技術，使該流量計重復性好，實現了計量。 - 技術帶來的結構簡化，該流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，為用戶降低能源消耗。 - 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便。 - 本流量計有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。 - 用戶根據需要可以選配4～20mA標準電流信號輸出。 - 用戶根據需要可以選擇脈沖輸出模塊，可兼容現有抄表系統，每個脈沖代表0.001 Nm3的流量。 - 通過國家防爆認證，標志為EX ia IIC T4，可用于易燃易爆氣體。 技術參數： 基本參數 （1） 精度: ±（1.5+|r|Qmax/Qi）% 其中，Qmax: 最大流量; Qi: 當前流量; r: 零點穩定度; 通常r=0.15 （2） 測量范圍: 0.01～65 Nm/sec （例： DN100: 0.25～1600Nm3/hr） （3） 標準狀態條件（P=101.325kPa，T=293.15K）,執行標準 Q/77453766-1•1-2006。 使用環境 （1） 環境溫度：-20～+55°C （2） 環境濕度：≤95%RH （3） 大氣壓: 86kPa～106kPa （4） 工作壓力: 0.1～1.5MPa 介質條件 （1） 介質溫度：-10～+55℃（大于此范圍可協議供貨）； （2） 可測量的介質：除乙炔外的各種工業氣體。 電氣性能指標 （1） 工作電源：外部電源，8～24 VDC （2） RS485通信 采用RS485通信接口，可直接與用戶設備聯網，遠距離顯示實時流量與累計流量，便于集中管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 （3） 4～20mA 電流輸出 與標準質量流量成正比，4mA對應0，20mA對應Qmax 。 （4） 脈沖輸出 本流量計的脈沖輸出為0～5V的電平信號，每個脈沖代表0.001Nm3的累計流量。 （5） 電源工作情況記錄與累計流量記錄 A． 可以記錄最近1000次供電電源的工作情況，包括上電或者斷電的時間，當時的累計流量。 B． 可以根據需要記錄每3分鐘～720分鐘的累積流量，方便用戶進行數據的分析和管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 其他技術指標 （1） 校準氣體：通常為空氣（20°C，101.325 kPa）； 用戶若有需要，可采用實際氣體標定。詳細請與廠商聯系。 （2） 防護等級：一體型 IP65（可根據客戶需求進行相應改型處理） （3） 防爆要求：EX ia IIC T4 機械尺寸： 管道直徑 （mm） 插入深度 （mm） 探桿總長度 （按15通徑的球閥計算） 定長 流量范圍（Nm3/hr） 80 10.60 192.60 桿長250；直徑φ14 球閥15 0～1024 100 13.25 195.25 0～1600 125 16.56 198.56 0～2500 150 19.87 201.86 0～3600 200 26.50 208.50 0～6400 250 33.13 215.13 0～10000 300 39.75 221.75 0～14400 350 46.38 228.38 0～19600 400 53.00 235.00 0～25600 450 59.63 241.63 0～32400 500 66.25 248.25 0～40000 600 79.50 261.50 桿長325；直徑φ14 球閥15 0～57600 700 92.75 274.75 0～78400 800 106.00 288.00 0～102400 900 119.25 301.25 0～129600 1000 132.50 314.50 0～160000 1100 145.75 327.75 0～193600 1200 159.00 341.00 桿長400；直徑φ19 球閥20 0～230400 1300 172.25 354.25 0～270400 1400 185.50 367.50 0～313600 1500 198.75 380.75 0～360000 1600 212.00 394.00 0～409600 說明書: 前言 氣體質量流量計是SIARGO采用自主知識產權（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機控制技術開發生產出的新一代智能化全電子式的氣體質量流量儀表。該產品性能處于國際領先水平，具有靈敏度高、量程范圍寬、精度高、具有抗干擾隔離設計、多種信號輸出等多項特點，并能通過通信接口實現網絡化管理。 本流量計可用于各類工業及商用場合的氣體計量、監測或控制。為了正確、安全地使用本產品，地應用其設計功能，減少因操作錯誤造成的儀表損壞，降低因操作不當發生危險的可能性，了解產品的各項功能、操作規程與要求、注意事項等內容，以免引起誤操作，造成損失。使用者在操作儀器前，必須詳細閱讀本說明書。 聲明 1．本流量計在出廠時，所有軟件、硬件均經過嚴格測試，絕對禁止對任何軟件、硬件進行改動。 2．絕對禁止在本流量計有故障的情況時繼續使用。 3．當流量計發生故障時，必須由我公司或由我公司授權的技術人員進行檢修，絕對禁止未經我公司同意或未經我公司授權的技術人員對流量計進行軟件、硬件改動，否則我公司對由此產生的后果概不負責。 目錄 前言1 聲明1 目錄2 一、使用及安全事項3 二、概述4 三、產品分類形式及選型說明5 四、產品結構與工作原理6 五、技術指標8 六、安裝說明9 七、功能說明15 八、檢定16 九、維修和故障排除17 十、運輸及貯存17 十一、開箱及檢查17 十二、客戶服務及技術支持18 附錄：應用說明19 一、使用及安全事項 （1）本產品適用于相對潔凈、組分單一或相對穩定的氣體質量流量在線測量，如工業、商業環境內的氣體計量、監測或控制。在其它環境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，特殊需求請和本公司聯系。 （2）使用的技術范圍請參照本說明書的技術參數部分。在其它環境中使用，有可能本流量計不能正常工作或造成損害，特殊需求請和本公司聯系。 （3）安全事項 - 使用、安裝、儲存和維護本流量計均須嚴格按照相應的安全操作規范來進行。否則，將有可能造成危害及傷害以及其他不可預知的有害事件發生。所有的安裝、儲存和維護均需要有經驗的人員來進行。本手冊應放置在靠近流量計并且隨時易于獲取的地方。 （4）在使用本流量計前，應仔細閱讀本手冊并應當對手冊所述各項熟記于心。 （5）本流量計建議維護或重校周期為2年，或視其需要適當作相應的維護或校驗。 二、概述 氣體質量流量計是采用（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表。主要技術性能處于國際領先水平，具有靈敏度高、量程比大、精度高等特點；還有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其獨特的性能，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。 本系列流量計在中國大陸的執行標準為Q/77453766-1•1-2006。參照執行標準: ISO14511。 產品特點： •采用系統芯片加工技術和類似于大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。 •在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。 •傳感器零點穩定度較之傳統的熱式質量流量計有極大的改善。 •結合二次儀表的微電腦智能技術，使該流量計重復性好，實現了計量。 •技術帶來的結構簡化，該流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，為用戶降低能源消耗。 •采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便。 •本流量計有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。 •用戶根據需要可以選配4～20mA標準電流信號輸出。 •用戶根據需要可以選擇脈沖輸出模塊，可兼容現有抄表系統，每個脈沖代表0.001 Nm3的流量。 •通過國家防爆認證，標志為EX ia IIC T4，可用于易燃易爆氣體。 三、產品分類形式及選型說明 選型方式按照如下選型規則確定： 為選型方便，帶球閥的插入式流量計的探桿長度及對應的流量范圍可見下表： 管道直徑（mm）插入深度（mm）探桿總長度（按15通徑的球閥計算）定長流量范圍（Nm3/hr） 8010.60192.60桿長250；直徑φ14球閥150～1024 10013.25195.25 0～1600 12516.56198.56 0～2500 15019.87201.86 0～3600 20026.50208.50 0～6400 25033.13215.13 0～10000 30039.75221.75 0～14400 35046.38228.38 0～19600 40053.00235.00 0～25600 45059.63241.63 0～32400 50066.25248.25 0～40000 60079.50261.50桿長325；直徑φ14球閥150～57600 70092.75274.75 0～78400 800106.00288.00 0～102400 900119.25301.25 0～129600 1000132.50314.50 0～160000 1100145.75327.75 0～193600 1200159.00341.00桿長400；直徑φ19球閥200～230400 1300172.25354.25 0～270400 1400185.50367.50 0～313600 1500198.75380.75 0～360000 1600212.00394.00 0～409600 四、產品結構與工作原理 4.1產品結構 本流量計主要由（MEMS）流量傳感器部件，智能控制、顯示及輸出部件，測量管體，測量探桿,穩流器，法蘭及過渡部件組成。其結構如圖4-1所示： 4.2工作原理 （MEMS）芯片傳感技術，是在硅片上集成了具有機械和電子的特征的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術與大規模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。系統芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。一個典型的芯片包含有微傳感器、微調節器、微執行器及智能電子控制線路。其傳感器能感應環境的熱、機械、磁、光、化學或生物特性，通過微調節器及智能電子控制線路來完成器件所賦予的功能。 本流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它通過由于氣體流動產生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。 不同于傳統的“熱絲”方式采用單一熱傳感器及熱源來測量氣體的質量流量（風速式熱質量流量原理），系統芯片熱質量流量傳感器采用了多個熱傳感器及一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。系統芯片熱質量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會像傳統的“熱絲”式質量流量計那樣造成氣體的對流。因而，系統芯片熱質量流量傳感器具有優良的零點穩定性和極短的響應時間。 本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。見流量計原理框圖圖4-2。 五、技術指標 5.1基本參數 （1）精度:±（1.5+|r|Qmax/Qi）% 其中，Qmax: 最大流量; Qi: 當前流量; r: 零點穩定度; 通常r=0.15 （2）測量范圍:0.01～65 Nm/sec （例： DN100: 0.25～1600Nm3/hr） （3）標準狀態條件（P=101.325kPa，T=293.15K）,執行標準 Q/77453766-1•1-2006。 5.2 使用環境 （1）環境溫度：-20～+55°C （2）環境濕度：≤95%RH （3）大氣壓: 86kPa～106kPa （4）工作壓力: 0.1～1.5MPa 5.3介質條件 （1）介質溫度：-10～+55℃（大于此范圍可協議供貨）； （2）可測量的介質：除乙炔外的各種工業氣體。 5.4電氣性能指標 （1）工作電源：外部電源，8～24 VDC （2）RS485通信 采用RS485通信接口，可直接與用戶設備聯網，遠距離顯示實時流量與累計流量，便于集中管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 （3）4～20mA 電流輸出 與標準質量流量成正比，4mA對應0，20mA對應Qmax 。 （4）脈沖輸出 本流量計的脈沖輸出為0～5V的電平信號，每個脈沖代表0.001Nm3的累計流量。 （5）電源工作情況記錄與累計流量記錄 A．可以記錄最近1000次供電電源的工作情況，包括上電或者斷電的時間，當時的累計流量。 B．可以根據需要記錄每3分鐘～720分鐘的累積流量，方便用戶進行數據的分析和管理。本公司可提供專門的用戶軟件。 5.5其他技術指標 （1）校準氣體：通常為空氣（20°C，101.325 kPa）； 用戶若有需要，可采用實際氣體標定。詳細請與廠商聯系。 （2）防護等級：一體型 IP65（可根據客戶需求進行相應改型處理） （3）防爆要求：EX ia IIC T4 六、安裝說明 6.1 流量計外形 6.2安裝 本產品的安裝為水平安裝。管道體上箭頭標記方向為介質流向。介質進出端口連接必須正確，進口端需裝過濾器。 安裝步驟如下： （1）取出流量計后檢查其外表，確定無損傷； （2）連接并清潔管道。先去掉管道焊接后的一些大的金屬殘渣；然后用急開急關氣流的方法反復3次以上，去掉管道內的一些小殘渣。確保管道內無任何殘渣后方可進入下一步； 注意：a.為了減少灰塵對流量計的影響，流量計的靈敏度和計量性，必須在流量計前端加過濾器； b.為了確保氣流的穩定性和計量的性，流量計必須確保前端最少7DN，后端最少3DN的直管段（注意中間不能有閥門）； 插入式流量計安裝示意，參看圖6-2. （3）將流量計安裝到管道上，確保流量計進出口軸線目測無偏斜； 注意：a.為了流量計的計量性，安裝時要先連接流量計的上游端； b.流量計安裝時密封件不得凸入管道中，也不能有任何密封膠滲入管道內； （4）插入式安裝方法及注意事項 A.安裝原則: a）安裝應氣體流向與產品指示方向一致.（圖6-3） b）傳感器與流量方向的平行度應小于±3度.（圖6-4） c）安裝位置應遠離彎頭,閥門,變徑等,上游7倍管徑和下游3倍管徑的直管段（圖6-5） （圖6-3） （圖6-5） B.安裝示意圖： （圖6-6） a）如圖圖6-6，在管體垂直穿過管道截面軸線位置的上端打一個直徑14的圓孔。 b）把不銹鋼底座采用氬弧保護焊接的方式焊接在直徑14mm的圓孔同心位置，使不銹鋼底座與直徑14mm的圓孔同軸。 c）把密封圈放在底座上端的V形槽中。 d）把插入式流量計的探頭穿過底座插入管體，插入前先把鎖緊帽和墊片套在探頭上。 e）調整探頭插入深度和探頭軸線位置，旋緊鎖緊帽，將流量計固緊在管體上。氣體流向與流量計指示方向一致。 C.探頭插入深度如圖6-7， 尺寸按以下公式計算： L = D/8 + H + 157（公式1） L：探頭插入深度（mm） D：管道內徑（mm） H：管道壁厚（mm） D.傳感器調節方法 如圖6-8 注意：在對插入式表進行傳感器方向校正時，采用我公司提供的校準工裝；見圖6-3-8所示，將工裝的安裝座水平安裝在流量計的圖中所示安裝座處，注意裝平，再鎖緊螺釘，然后插入探桿，如圖所示，要求探桿的兩只腳都能夠的接觸好管道的外壁，這樣傳感器的方向就調好了！ （5）線纜連接 A．連接流量計與用戶接口的電纜線，并確保流量計外殼上接地線連接大地，連接定義如下（流量計引出線見圖6-9）： DC+ 即8V～24VDC； DC- 即GND； RS485ARS485A； RS485BRS485B； LOOP+ 8～24VDC供4～20mA工作（信號與電源隔離）； LOOP- 4～20mA電流信號輸出； PULSE 脈沖輸出信號； VP 即脈沖電源供電+5VDC； PGND 即脈沖電源供電GND； 保護地 連接大地 （注意：對于控制信號不同要求的用戶，根據相應應用連接對應的信號） （6）回路電阻的連接（本步驟為需要4～20mA電流信號輸出的用戶使用，其他用戶請跳過本步驟）： 外部4～20mA電流輸出電路電壓與回路最大電阻的關系： RL（max）=（VS-6V）/20mA 若VS=24V，則 RL（max）=（24V-6V）/20mA=900Ω 一般情況下，直接選擇RL=100Ω； 注意 ：一定要確認連接線無誤后才能進行下一步！ （7）接通流量計電源，液晶顯示屏上應依次顯示： AUTO CHECKING...（系統自檢） 1） CRYSTALOK （檢測系統晶體振蕩器,正常） 2） ADC OK （檢測ADC,正常） 3） EEPROMOK （檢測數據存儲器EEPROM,正常） 4） RTC OK （檢測實時時鐘RTC,正常） 當上述任一項檢測到故障時有錯誤顯示：ERROR 如： 1） CRYSTAL ERROR 顯示出錯標志，并繼續檢測，等待振蕩；若故障仍存在，則系統停止運行；若故障消失，系統運行，顯示 1） CRYSTAL OK-OK） 上述檢測過程完成后，液晶屏上應出現如圖7-1的顯示； （8）等待約10秒后，液晶屏上應出現雙排顯示。上排為當前總量（即累計流量），單位為標準立方米/小時（Nm³）；下排為實時流量，單位為標準立方米（Nm³/h）； 注意：由于本流量計具有很高的靈敏度，極微少的氣體流動也將會被檢測到。因此若此時流量計的實時流量讀數不為零是正常的（管道中無氣體流動時顯示應為零）； （9）開啟管道上下游的閥門，流量計開始計量管道中的氣體流量，液晶屏顯示出現流量數據。 6. 3流量計安裝注意事項: （1）嚴禁流量計在線焊接管道法蘭； （2）流量計安裝前必須清除管道中的雜質,避免異物進入而損壞流量計,管道內壁應清潔無積垢； （3）流量計安裝時密封件不得凸入管道中，流量計進出口軸線目測無偏斜； （4）流量計的輸出連線中保護地線必須與現場大地連接； （5）安裝后不允許對流量計產生安裝應力，以免損壞流量計； （6）流量計周圍不能有強的外磁場干擾及強烈的機械振動； （7）介質流量應穩定，操作有關閥門時動作要緩慢，切勿突然關閉。 七、功能說明 7.1工作模式 本流量計具有用戶、操作和校準工作模式，一般情況，均在用戶模式下工作。 （1）用戶模式下，流量參數只在液晶屏上顯示，輸出接口不工作； （2）操作模式下，流量參數在液晶屏上顯示的同時，流量計上的RS485和脈沖輸出接口也有數字輸出； （3）校準模式下，流量計在校準系統管理下，讀出和存儲校準參數。 7.2內部參數輸出 流量計內部自動會記錄最大、最小瞬間流量值和時間值，斷電時間及斷電時的累積流量等，為實現網絡管理提供條件。用戶可采用本公司提供的專門用戶軟件。 7.3LCD顯示 在正常工作狀態下，本流量計液晶屏為如圖7-1顯示。 顯示內容有：總量（即累計流量）、流量（即瞬時流量）等；本流量計表盤如圖所示： www.cncom.net 在正常工作狀態下，本流量計液晶屏為雙排數字顯示。上排為當前累計流量，單位為Nm3（標準立方米）,可以顯示0.000～99999999.999 Nm3；下排為實時流量，單位為Nm3/h （標準立方米/小時），可以顯示0.000～999999.999 Nm3/h。 實時質量流量與體積流量間的轉換是基于下述條件：1 標準立方米（Nm3/h）等于在溫度20°C，大氣壓力101. 325kPa下該氣體1立方米的體積。 7.4RS485通信 本流量計的通訊方式為RS485，其設置為： 波特率－9600；數據位－8；停止位－1；校驗位/流控制－無。 （1）用戶模式： 通過RS485向流量計送0x9d和0x00（并取得流量計的確認信號0x9d和0x00），流量計進入用戶模式。 （2）操作模式： 通過RS485向流量計送0x9d和0x54（并取得流量計的確認信號0x9d和0x54），流量計進入操作模式，RS485將連續輸出一組數據（ASCII碼）： V=vvvv\\nF=ffffff\\nA=aaaaaaaa\\nT=x\\n;\\n 其中V為電壓內碼值，F為流量值（fff.fff Nm3/h），A為總流量（aaaaa.aaa Nm3），T為當前傳感器（0和1分別代表不同的傳感器）。 7.5累計流量記錄 （1）總流量數據間隔100s保存一次。 （2）可選擇每3～1440分鐘（可以設置）記錄一組數據，以便分析某段時間的氣體使用情況，保存內容有：年，月，日，時，分，總量，流量數據。一共可以記錄1000條數據。 上述數據可以通過應用軟件形成用氣量曲線圖，如瞬時流量曲線圖，日用氣量曲線圖，月用氣量曲線圖。 八、檢定 雖然本流量計在出廠前已經過嚴格質量檢查，在產品現場安裝前仍應嚴格按照相應的安全規章來進行。產品的其它性能如校準、部件替換、維修等應送到專業部門由受過專門培訓的技術人員進行。如有需求，本公司可提供相應技術支持和人員培訓。 8.1檢定與校準 每臺流量計在出廠時均經質量和計量檢驗、檢定部門檢驗。檢定合格, 并出具產品合格證明書。當用戶使用的氣體與校準氣體的差異較大時，流量計有可能出現相應的計量偏差,用戶應與廠家聯系，由廠商提供修正的方法和相應的用戶軟件。 本流量計的檢定或校準參照國家質量式流量計檢定規程和說明書中的要求進行，可采用鐘罩、音速噴嘴或標準表法，并按照廠商提供的應用程序和規定的操作規范來完成。進一步的情形請與廠商，或當地檢測站聯系。 8.2注意事項 （1）不得隨意松開流量計的固定部分。 （2）流量計在室外使用時，建議安裝防護罩。 （3）介質流量應穩定，操作有關閥門時動作要緩慢，切勿急啟急停。 九、維修和故障排除 若需進一步的信息和及時更新信息，請直接與本公司聯系。 十、運輸及貯存 10.1運輸 流量計及其附件應該裝入專門的包裝箱中，有防止碰撞、防止振動等保護措施。 采用一般交通工具運輸，在運輸過程中不得劇烈振動、碰撞，避免與腐蝕性物質混存混運，并注意防雨防潮。 10.2貯存 應存放于陰涼、通風、干燥無腐蝕性物質的倉庫內。 十一、開箱及檢查 開箱時應檢查外部包裝的完整性，根據裝箱單核對箱內物品數量、規格，并應檢查其完好性。 隨機文件有：裝箱單，合格證，檢定證書，使用說明書。 十二、客戶服務及技術支持 竭力保障其產品的質量。若有任何質量問題或需產品的技術支持，請與本公司的客戶服務聯系。 www.cncom.net 附錄：應用說明 雖然傳感器的應用簡明直觀，為了更好地選擇使用傳感器以滿足應用要求，仍需注意以下事項。 壓力和溫度 傳感器測量的是質量流量而與壓力和溫度無關，但在將質量流量換算成體積流量時，須進行壓力和溫度修正。在大多數情況下，本產品的零點漂移對測量的影響微小，因而不需要對壓力和溫度變化額外關注。但在某些極端超出本產品的技術參數溫度和壓力的情況下，需進行額外的校準。 體積流量和質量流量 絕大多數氣體計量都采用的是容積式的機械流量計。但是，因為不能測量與環境溫度和壓力相關的氣體容積的變化，體積流量在溫度或壓力變動的情況下往往不能滿足測量的要求。MEMS流量傳感器直接計量質量流量，其計量數據總是對應于標準狀態下（101.325kPa, 20ºC）的體積，通常表達為NCMH（標準立方/每小時），質量流量實際是自動換算成體積流量。 不同氣體的導熱性 傳感器精確度取決于校準。校準通常用空氣在101.325kPa, 20ºC條件下進行。不同氣體具有不同特性，對不同的氣體，在空氣中校準的傳感器有可能達不到產品技術參數表所示的精確度。但是，傳感器對大多數氣體都具有相似特性，這樣，對不同的氣體，僅需使用氣體轉換參數而不需專門校準即可應用MEMS傳感器。更多有關信息，請聯系廠家獲取。 量程比 量程比是在限定的精確度下傳感器能計量的最大流量與最小流量之比。 流量傳感器采用集成工藝，在高精度下能達到相當大的量程比。而且，MEMS傳感器的量程比與壓力無關，而不象機械式流量計如渦輪流量計的量程比是一個與壓力相關的變量。 歷史資料:2009-11-05版本 2009-11-05版本 2009-11-23版本 2009-11-23版本 | 插入式氣體質量流量計（防爆） 美國獨資JKY/MFI |
