應用: · 殘余氣體或泄漏檢測 · 實質上的泄漏或脫附分析 · 除氣研究 · 烘烤周期 · 泵效能 · 腔室/過程氣體污染物 特點: · HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作(最小壓力4x10-8 Torr) · 在P 〈 10-4 Torr時具有高靈敏度的RGA操作模式,最小壓力1x10-11 Torr · 最大質量數100amu,軟件操作。 · 穩定性好(24h之上,高度變化小于±1% ) · MASsoft軟件控制,或由局域網進行多個系統控制 · 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰 · 混合模式掃描-多個windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰 · 同步顯示數據圖,列表 · 同步背景扣除,自動質量數列表 · 數據輸出為ASCII格式,至windows設備 · 即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如 Excel、SPC-IV統計過程控制軟件